關于勻膠顯影機的新聞
發(fā)布日期：2021-01-29
勻膠顯影機一般由四部分組成。第一部分是晶圓盒工作站，晶圓盒在這里裝載到機器上。機械手從晶圓盒中把晶圓抽出來，傳送到工藝處理部分，即第二部分。工藝處理部分是勻膠顯影機的主體，增粘模塊，熱盤、冷盤、旋涂、顯影等首要工藝單元都安裝在這里，一個或兩個機械手在各單元之間傳遞晶圓。第三部分是為浸沒式光刻工藝配套的單元，包含晶圓外表水沖刷單元、背清洗單元等。第四部分是和光刻機聯(lián)機的接口界面，包含暫時儲存晶圓的緩沖盒、晶圓邊緣曝光和光刻機交流晶圓的接口等。
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